반도체 공업의 막이용기술
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작성일 21-08-27 06:21
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또 재생을 통해 배출액의 양을 감소시킨다.순서
역삼투장치는 초순수 제조장치 시스템 중에 다음과 같은 위치에 들어있다.
종래에는 유기물의 많은 원수(原水)를 직접 이온교환수지(IER)에 의해 처리하는 경우를 흔히 볼 수 있었으나 음이온교환수지인 유기물 오염에서는 거의 찾아볼 수 없게 되는 등 해를 거듭할수록 순도가 상승되어 방해하는 현상은 거의 전무하다.
2. 역삼투 (R/O : Reverse Osmosis) 역삼투장치는 초순수 제조장치 시스템 중에 다음과 같은 위치에 들어있다. 역삼투가 탈이온 능력도 가지고 있는 것을 이용해 보통 이온교환수지장치에서 물의 순도를 높일 수 있도록 한다.
역삼투장치에서 물의 회수율(투과수량/공급수량)은 보통 75%이상으로 실리카(SiO2)농도가 높은 원수와 같은 경우, 즉 농출에 의해 난용성 침전을 용…(drop)
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레포트/자연과학
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2. 역삼투 (R/O : Reverse Osmosis)
다. ①... , 반도체 공업의 막이용기술자연과학레포트 ,
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2. 역삼투 (R/O : Reverse Osmosis)
역삼투장치는 초순수 제조장치 시스템 중에 다음과 같은 위치에 들어있다
① 1차 순수제조 장치안에서는 이온교환장치 앞이나 뒤.
② 2차 순수제조장치 (서브 시스템)의 말단.
③ 폐수 회수장치내의 적절한 장소
1차 순수제조 장치내에 역삼투 장치를 사용하는 직접적인 목적은 원수안의 이물질인 미립자, 미생물, 금속 콜로이드, 유기물 등이 초순수 제조장치 안에 침입하는 것을 방지하기 위함이다.
